表面・局所分析 構造解析
Surface analysis・structure analysis
各種材料の表面、断面に存在する組成元素や超微量不純物およびこれら元素の組織状態を分析できます。
実体顕微鏡
デジタルマイクロスコープ
マイクロマニュピレーター
微量サンプリングが可能
・ピックアップ
・表面出し
・切削
・吸引
など
各種アタッチメント完備
表面の化学構造を解析することにより、特性や機能を推測します。
また、元素マッピングを行うことで、各元素の分布状態を知ることが出来ます。
電解放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
電子線マイクロアナライザー（EPMA）
観察から分析をより効率に行う進化型インテグレーションEPMA（23年夏 導入予定）
